只见,光刻室里此时并没有一名操作工。
需要流片的硅晶圆片,通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头,可以全方位的喷洒洗涤药剂,清洗硅晶圆片的表面。
清洗干净的硅晶圆通过烘干室,自动烘干,热风吹拂除尘除异物,负压吸取异物。完成这道工序,洁净级别的硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。
这时候,四台码垛机器人把这些硅晶圆片取下来,放入托盘中临时存放。另外有四台机码垛器人,从托盘中取出一片硅晶圆片,放入光刻机内,等待光刻机给硅晶圆片曝光。
这一套流程下来,居然不要操作工来完成作业。
陈荣干震惊了,眼前的这一切让他无比震撼,“全球最先进的Foundry制程工艺果然不是吹的。这条芯片生产线应该是全球第一,没有哪一家的生产线比这还要先进。”
不但他这么想,所有来参观的技术专家们,此时都是这么想的。
“哇哦!全自动的芯片生产线。我们的Foundry正在研制,鸣芯制造公司倒是已经搞成功了。”
“我靠!这也……
(ò﹏ò)
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