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第1028章 芯片之战·意外的惊喜【求订阅】

“太棒了周博士,集团公司会立即增加一鸣闽都激光实验室的投资!”听完竹竿博士周阳的介绍,许振鸣喜出望外的笑道。说话间,他拿出手机马上就给远在南安总部的胡明镇打电话。

“老胡啊,跟你说一个好消息。你们正在研制的第四代光刻机,激光光源的问题已经有着落了。”许振鸣激动不已的给胡明镇报喜。

还没等他话音落下,手机里顿时传来胡明镇的惊呼声,“你说什么?郝宁教授他们已经取得突破了吗?他们是怎么解决ArF气体的均匀分布和分子运动的问题?”

胡明镇的团队都知道ArF气体经过激光粒子束轰击后悔产生高能准分子的离子束,但一直都找不到均匀可控的激光粒子束。

即便郝宁教授的团队成员一直都在努力,用光学仪器光路系统来控制深紫外粒子束,可依旧没取得什么进展。

与之同时,在这方面技术最领先的岛国尼康公司好像有所突破,已经能做出193纳米的激光发生器。但他们依旧没能获得高能的193纳米深紫外光源,不能把ArF准分子激光做成商品化。

也就……

(ò﹏ò)

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